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FC-R7800

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仕 様 ・耐腐食設計
・メタルシール採用
・VCR、Swagelok互換の接続部
・10sccm~200slmのフルスケール流量レンジ
・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ
・1x10-11Pa・m3/sec(He)以下の 外部リークレート

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仕様

型式と仕様コード

寸法

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