流量制御・計測器 > マスフローコントローラー/メーター
FC-R7800
仕 様 | ・耐腐食設計 ・メタルシール採用 ・VCR、Swagelok互換の接続部 ・10sccm~200slmのフルスケール流量レンジ ・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ・1x10-11Pa・m3/sec(He)以下の 外部リークレート |
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※形状および寸法は予告なく変更することがあります。
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