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MC-10

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特 長 ●ラバーシールを採用することで低価格を実現
●流量精度は±1.0%F.S.を保証
●10SCCM ~ 50SLM までの幅広い流量レンジに対応
●オプションでバリアブルレンジ( VR ) 機能を選択することで、(基準流量)÷(使用するF.S.流量)×(コンバージョンファクタ)で求めた値を3桁のロータリスイッチに入力して、ガス種、F.S. 流量を変更可能
●バリアブルレンジ( VR ) 機能により、1 台で複数の仕様に対応することで、予備品の削減が可能
●オプションでRS-485 通信機能を選択することで、デイジーチェーン接続で最大32 台のマスフローコントローラの接続が可能
●リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載
●高速、高性能なソレノイドアクチュエータを採用
●金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作
仕 様 温度・・・・・15~35℃
最小差圧・・・50kPa
最大差圧・・・300kPa
精度・・・・・±1%F.S.
制御範囲・・・2~100%F.S.
最小F.S.・・・10SCCM
最大F.S.・・・150SLM
シール・・・・バイトン

※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです。

仕様

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