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MC-10
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| 特 長 | ●ラバーシールを採用することで低価格を実現 ●流量精度は±1.0%F.S.を保証 ●10SCCM ～ 50SLM までの幅広い流量レンジに対応 ●オプションでバリアブルレンジ( VR ) 機能を選択することで、(基準流量)÷(使用するF.S.流量)×(コンバージョンファクタ)で求めた値を3桁のロータリスイッチに入力して、ガス種、F.S. 流量を変更可能 ●バリアブルレンジ( VR ) 機能により、1 台で複数の仕様に対応することで、予備品の削減が可能 ●オプションでRS-485 通信機能を選択することで、デイジーチェーン接続で最大32 台のマスフローコントローラの接続が可能 ●リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載 ●高速、高性能なソレノイドアクチュエータを採用 ●金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作 |
|---|---|
| 仕 様 | 温度・・・・・15~35℃ 最小差圧・・・50kPa 最大差圧・・・300kPa 精度・・・・・±1%F.S. 制御範囲・・・2～100%F.S. 最小F.S.・・・10SCCM 最大F.S.・・・150SLM シール・・・・バイトン ※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです。 |
仕様
