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MC-700

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特 長 ●(基準流量)÷(使用するF.S.流量)×(コンバージョンファクタ)で求めた値を3 桁のロータリスイッチに入力することで、ガス種、F.S. 流量を変更できるVR 機能を搭載
● VR 機能により、1 台で複数の仕様に対応することで、予備品の削減が可能
●汎用デジタルインターフェイスRS-485を装備し、デイジーチェーン接続で最大32台のMFC の接続が可能
●リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載
●マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現
●デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ
●高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用
●耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上
●金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作
仕 様 温度※・・・・・15~35℃
最小差圧※・・・50kPa
最大差圧※・・・300kPa
精度・・・・・・±1%F.S.
制御範囲※・・・2~100%F.S.
最小F.S.※・・・10SCCM
最大F.S.・・・50SLM
シール・・・・・Au

※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです、※はオプションにより変更可能です。

仕様

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