TOP / 製品情報 : 製品分類 / 流量制御・計測器 / マスフローコントローラー/メーター / MC-3000L

流量制御・計測器 > マスフローコントローラー/メーター

MC-3000L

写真をクリックすると切り替わります。

特 長 ●±1.0%S.P.保証を実現
●デジタルインターフェイスは、RS-485を標準装備
●リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載
●マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現
●デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ
●高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用
●耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上
●金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作
仕 様 温度※・・・・・5~50℃
最小差圧※・・・50kPa
最大差圧※・・・300kPa
精度・・・・・・±1%S.P.
制御範囲※・・・2~100%F.S.
最小F.S.※・・・5SCCM
最大F.S.・・・・400SLM
シール・・・・・Au

※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです、※はオプションにより変更可能です。

仕様

前の製品ページ カテゴリーページへ戻る 次の製品ページ