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MC-3000S
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| 特 長 | ●独自の低圧損構造により、6Torrの低差圧で 10SCCM(N₂)を制御可能 ●AsH₃やPH₃などのインプラ用途はもちろん、XeF₂やH₂Oなどの固体、液体原料を加温なしで制御可能 ●デジタルインターフェイスは、RS-485 を標準装備 ●リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載 ●マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現 ●デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ ●高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用 ●耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上 ●金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作 |
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| 仕 様 | 温度※・・・・・5~50℃ 最小差圧※・・・800Pa 最大差圧※・・・133kPa 精度・・・・・・±1%F.S. 制御範囲※・・・2～100%F.S. 最小F.S.※・・・2SCCM 最大F.S.・・・・30SLM シール・・・・・Au ※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです、※はオプションにより変更可能です。 |
仕様
