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MC-3000S

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特 長 ●独自の低圧損構造により、6Torrの低差圧で 10SCCM(N₂)を制御可能
●AsH₃やPH₃などのインプラ用途はもちろん、XeF₂やH₂Oなどの固体、液体原料を加温なしで制御可能
●デジタルインターフェイスは、RS-485 を標準装備
●リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載
●マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現
●デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ
●高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用
●耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上
●金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作
仕 様 温度※・・・・・5~50℃
最小差圧※・・・800Pa
最大差圧※・・・133kPa
精度・・・・・・±1%F.S.
制御範囲※・・・2~100%F.S.
最小F.S.※・・・2SCCM
最大F.S.・・・・30SLM
シール・・・・・Au

※仕様表は一般仕様のマスフローコントローラです、※はオプションにより変更可能です。

仕様

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