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メタルベローズポンプ メタルベローズポンプ
メタルベローズポンプはフレキシブルなステンレス製ベローズダイアフラムの特長を生かした容積式ポンプです。 ガス用の真空ポンプ、昇圧コンプレッサとして使用することができます。
※液体では使用不可です。

特長

  • 溶接ベローズと密閉されたハウジングの構造により、非常に気密性の高い状態で吸込、吐出が可能(※)
  • 接ガス部であるベローズとリードバルブには構造上磨耗部がなく、流体ガスへのコンタミネーションがない
  • 接ガス部の材質は劣化、腐食に強い300シリーズステンレスを使用
  • 無限に近い運転サイクルに耐える事が可能
  • 様々な要求仕様や用途に合わせ、標準型ポンプを改造し特殊仕様ポンプを設計、製造可能
    例.モータ（防爆、可変速、特殊電圧）、二重構造ベローズ封じ込め（ダブルコンテイメント）、ガスケット材質変更等

    ※ ヘリウムリークレート：1x10 -6～1x10-10 Pa・㎥/sec

構造

メタルベローズポンプの構造 モータシャフトとベアリング間の偏心カムによってドライバが往復運動するとベローズに変位置が与えられ、リードバルブが開閉、流体ガスを吸込、吐出します。
流体ガスを完全密閉するベローズと、無給油密閉型ボールベアリングを組込んだドライバを溶接したドライブユニット、精巧に成型加工された高性能リードバルブの組合せによって、メタルベローズポンプは性能低下なく無限に近いサイクル運転ができるよう設計されています。

型式一覧表

型式/性能 最大吐出
流量
(L/min)		 最大到達
真空度
(kPaG)		 最大運転
(吐出)圧力
(kPaG)		      
MB-10 / MB-21 / MB-41 2.8/5.6/11.0 -16.8/-40.5/-50.5 27.5/69.0/69.0 ACモータ   気体用
MB-118 / MB-158 28.0/40.0 -64.0/-74.5 159.0/172.0 ACモータ   気体用
MB-111 / MB-151 28.0/40.0 -64.0/-74.5 159.0/275.0 ACモータ 防爆‹OP› 気体用
MB-302 85.0 -74.5 275.0 ACモータ 防爆‹OP› 気体用
MB-601 140.0 -74.5 275.0 ACモータ 防爆‹OP› 気体用
MB-602 170.0 -74.5 275.0 ACモータ 防爆‹OP› 気体用
MB-118HT / MB-158HT　高温型 28.0/40.0 -64.0/-74.5 159.0/172.0 ACモータ 防爆‹OP› 気体用
MB-302HT　高温型 85.0 -74.5 275.0 ACモータ 防爆‹OP› 気体用
MB-601HT　高温型 140.0 -74.5 275.0 ACモータ 防爆‹OP› 気体用
MB-151HP / MB-601HP　高圧型 40.0/70.0 -90.0 500.0/690.0 ACモータ 防爆‹OP› 気体用
MB-151DC / MB-601DC　ダブルコンテイメント型 40.0/140.0 -74.5 275.0 ACモータ 防爆‹OP› 気体用
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